一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法

摘要

本发明涉及一种镜面全反射型弯曲波导器件结构及制作方法,特征在于以绝缘层上的硅为基材料,利用硅的各向异性腐蚀特性,通过氧化、光刻、腐蚀等微机械加工技术,制作出位置精确、镜面平整度高且与波导平面绝对垂直的全反射镜,并和用绝缘层硅材料制作出的单模脊形波导一起构成大角度、小尺寸、损耗低的弯曲波导。将此结构应用于无源光器件(如光耦合器、阵列波导光栅等等)中以实现结构紧凑、集成度高、性能好、工艺简单、可以批量生产的光通信器件。

主权项

1．一种镜面全反射型弯曲波导器件结构，其特征在于利用硅的各向异性腐蚀特性制作出位置精确、镜面平整度高并且与波导平面绝对垂直的全反射镜面，并和用绝缘层上的硅材料制作出的单模脊型波导一起构成弯曲波导。