微小尺寸测量仪

摘要

本发明提供一种微小尺寸测量仪，即使被测量物倾斜配置，或者被测量物上的图形从指定的位置微小偏移，也可以准确、且同时测量多个图形。当使多个检测部(26、28)可沿着X轴框架(18)非同步移动配置，并使检测部(26、28)整体可沿着Y轴框架(20)移动配置，并且使各检测部(26、28)在一定范围内可沿着Y轴方向非同步移动配置，平板(46)对X-Y座标不是平行配置，而是对Y轴倾斜配置，或者液晶监视器(48)的图形与注册图形偏移时，根据平板(46)的倾斜或图形偏移，使检测部(26、28)相互独立地沿Y轴方向移动，修正位置偏移，可以准确、且同时测量液晶监视器(48)上的多个图形，可以缩短测量时间。

主权项

1、一种微小尺寸测量仪，其特征在于，具有：对被测量物上的多个图形分别摄像的多个检测部；图像处理部，对上述多个检测部摄像的图像进行处理，并计算有关上述多个图形的微小尺寸；及驱动部，至少将面对上述被测量物的被测量区域的空间作为移动空间，使上述多个检测部在上述移动空间中沿着三维方向移动，上述驱动部的结构包括：使上述多个检测部整体沿着上述三维中的一维方向移动的主驱动部；及使上述多个检测部沿着上述三维中的至少二维方向分别非同步移动的辅助驱动部，上述辅助驱动部具有：以X、Y、Z方向为三维方向，使上述多个检测部分别沿着X方向非同步移动的多个X方向用辅助驱动部；使上述多个检测部分别沿着Y方向非同步移动的多个Y方向用辅助驱动部；及使上述多个检测部分别沿着Z方向非同步移动的多个Z方向用辅助驱动部。