| 摘要 |
본 발명은 도전성 볼 탑재 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 기판에 형성된 마운팅 홈에 탑재하기 위한 도전성 볼을 공급받는 중앙 챔버, 상기 중앙 챔버를 감싸도록 형성되어 제1압축 기체를 상기 중앙 챔버로 전달하도록 형성된 내측 챔버, 상기 내측 챔버를 감싸도록 형성되고 제2압축 기체를 상기 중앙 챔버로 전달하도록 형성된 외측 챔버 및 상기 내측 챔버의 내부에 원주 방향으로 경사지도록 설치되는 복수의 가이드 핀을 포함하는 도전성 볼 탑재 헤드에서 상기 도전성 볼들을 상기 중앙 챔버에 공급하고, 상기 내측 챔버에 상기 제1압축 기체를 일정한 압력으로 공급하고, 제1압축 기체가 공급되는 상태에서, 상기 중앙 챔버 내부의 도전성 볼들을 상기 기판의 마운팅 홈에 탑재하기 위하여 상기 도전성 볼 탑재 헤드를 상기 기판의 상측에 배치한 상태에서 상기 제1압축 기체 및 제2압축 기체에 의해 상기 중앙 챔버 내부의 도전성 볼들이 상기 중앙 챔버의 내경을 따라 움직이면서 상기 기판의 마운팅 홈에 탑재될 수 있는 압력(작업 압력)으로 상기 외측 챔버에 상기 제2압축 기체를 공급하거나, 작업 대기 상태를 유지하기 위해 상기 제2압축 기체의 압력을 작업 압력보다 낮은 작업 대기 압력으로 유지하는 점에 특징이 있다. |
