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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Verdampfung von Verdampfungsmaterial, welches in einem Tiegel vorliegt, indem mittels Energiezufuhr von einem regelbaren Leistungserzeuger das Verdampfungsmaterial auf eine solche Temperatur erhitzt wird, bei welcher sich ein Teil des Verdampfungsmaterials in der Gasphase befindet. Der Erfindung liegt die Aufgabenstellung zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verdampfung von Verdampfungsmaterial anzugeben, welche die Stabilisierung des Dampfstromes am Dampfaustritt mittels einfacher, sicherer und kostengünstiger Kontroll- und Regelungsmöglichkeiten gestatten. Diese Aufgabe wird durch ein Verdampfungsverfahren gelöst, bei welchem dem Verdampfungsmaterial in der Weise Energie zugeführt und/oder abgeleitet wird, dass es während der stabilen Prozessphase gleichzeitig in gasförmiger, in fester und in flüssiger Phase vorliegt und die Temperatur an der Oberfläche des flüssigen Verdampfungsmaterials annähernd der Temperatur seines Tripelpunkts entspricht. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist eine Messeinrichtung zur Ermittlung des Erstarrungsgrades und/oder eine abschnittsweise erhitzbare und/oder kühlbare Wandung auf.
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