| 摘要 |
Es wird ein Ultraschallbonder beschrieben. Um die Durchführung eines Schertests in Bezug auf eine mit dem Ultraschallbonder hergestellte Bondverbindung weitgehend frei von Nebeneffekten zu ermöglichen, ist der Wandler des Bondkopfes torsionsfrei vertikal beweglich geführt. Der Bondkopf ist in einer Lagereinheit gelagert, welche über mindestens eine Biegezone mit der Haupthalterungseinrichtung des Ultraschallbonders verbunden ist. Mit Hilfe einer Dehnungsmesseinrichtung wird die Verformung der Biegezone bei Aufbringung einer Prüfkraft (Querkraft) gemessen. Die gemessene Scherkraft wird mit einer für die Festigkeit der Drahtbondverbindung charakteristischen Scherkraft verglichen, um die Qualität der Drahtbondverbindung zu ermitteln. Wahlweise kann der Ultraschallbonder ferner mit Mitteln zur Durchführung eines Pulltests versehen sein. |
