| 摘要 |
진공 시스템 및 가스 전달 시스템을 이용함으로써 설비 내의 적어도 하나의 사용 지점에 대한 적어도 하나의 가스 라인의 전달을 안전하게 가능하게 하기 위한 시스템 및 방법이 본 명세서에 개시되어 있으며, 여기서 가스 전달 시스템은 진공 시스템 내에 하우징된다. 가스 라인의 하나의 단부가 가스 소스에 접속되고 가스 라인의 다른 단부가 사용 지점에 접속되므로, 적어도 하나의 가스 라인을 내부에 포함하는 도관의 내부 용적은 감소된 압력으로 유지된다. 개별 가스 라인들을 인클로징하기 위해 도관을 이용하고 각각의 가스에 대해 단일 피드 라인을 이용함으로써, 본 명세서에 개시된 실시예들은 설비를 통해 연장될 필요가 있는 개별 가스 라인들의 개수를 감소시킨다. |
