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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUS HIGH-SPEED ACQUISITION OF MULTIPLE IMAGES
摘要
申请公布号 EP1966595(A2) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20060848183 申请日期 2006.12.26
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 CHUANG, YUNG-HO;BROWN, DAVID, LEE
分类号 G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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