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发明名称 N-substituted maleimide-acrylic cop[olymers for photoresists
摘要
申请公布号 GB2314847(A) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 GB19970013232 申请日期 1997.06.23
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JAE CHANG * JUNG;CHEOL KYU * BOK
分类号 G03F7/033;C08F220/12;C08F222/40;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F220/06;C08F220/18;G03F7/038 主分类号 G03F7/033
代理机构 代理人
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