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Beschrieben ist ein Teilchenstrahl-System mit einer Teilchenquelle, welche dazu konfiguriert ist, einen ersten Strahl geladener Teilchen zu erzeugen. Das Teilchenstrahl-System weist einen Vielstrahlerzeuger auf, der dazu konfiguriert ist, aus einem ersten einfallenden Strahl geladener Teilchen eine Mehrzahl von Teilstrahlen zu erzeugen, die in einer Richtung senkrecht zu einer Ausbreitungsrichtung der Teilstrahlen räumlich voneinander beabstandet sind, wobei die Mehrzahl an Teilstrahlen mindestens einen ersten Teilstrahl und einen zweiten Teilstrahl umfasst. Das Teilchenstrahl-System weist ein Objektiv auf, das dazu konfiguriert ist, einfallende Teilstrahlen in einer ersten Ebene zu fokussieren, derart, dass ein erster Bereich, auf den der erste Teilstrahl in der ersten Ebene einfällt, von einem zweiten Bereich getrennt ist, auf den ein zweiter Teilstrahl einfällt. Das Teilchenstrahl-System weist ein Detektorsystem mit mehreren Detektionsbereichen und einem Projektivsystem auf, wobei das Projektivsystem dazu konfiguriert ist, Wechselwirkungsprodukte, die die erste Ebene aufgrund der einfallenden Teilstrahlen verlassen, auf das Detektorsystem zu projizieren. Das Projektivsystem und die mehrerer Detektionsbereiche sind so aufeinander abgestimmt sind, dass Wechselwirkungsprodukte, die von dem ersten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen ersten Detektionsbereich des Detektorsystems projiziert werden und Wechselwirkungsprodukte, die von dem zweiten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen zweiten Detektionsbereich projiziert werden, der vom ersten Detektionsbereich verschiedenen ist. Weiterhin weist das Detektorsystem eine Filtereinrichtung zur Filterung der Wechselwirkungsprodukte entsprechend ihres jeweiligen Bahnverlaufs auf. |
