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发明名称 METHOD FOR FORMING BARRIER
摘要
申请公布号 JPH10326560(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970137111 申请日期 1997.05.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOKAI AKIRA;TOYODA OSAMU;KONO HIRONOBU;BETSUI KEIICHI
分类号 H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
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