| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Phasenkontrast-Elektronenmikroskop mit einem Objektiv (8) mit einer hinteren Brennebene (10), einer ersten Beugungslinse (11), die die hintere Brennebene (10) des Objektivs (8) vergrößert in eine Beugungs-Zwischenbildebene abbildet, einer zweiten Beugungslinse (215), deren Hauptebene in der Nähe der Beugungs-Zwischenbildebene angeordnet ist, und einem phasenschiebenden Element (16), das in oder in der Nähe der Beugungs-Zwischenbildebene angeordnet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Phasenkontrast-Elektronenmikroskop mit einem Objektiv (8) mit einer hinteren Brennebene (10), einer ersten Beugungslinse (11), die die hintere Brennebene des Objektivs vergrößert in eine Beugungs-Zwischenbildebene abbildet, einem ersten phasenschiebenden Element, das in der hinteren Brenneben (10) des Objektivs (8) angeordnet ist, und einem zweiten phasenschiebenden Element, das in oder in der Nähe der Beugungs-Zwischenbildebene angeordnet ist. Durch die vergrößerte Abbildung der Beugungsebene mittels der Beugungslinsen sind die dimensionsmäßigen Anforderungen an die Phasenplatte mit dem phasenschiebenden Element reduziert.
|
