METHOD FOR MANUFACTURING SPATIAL LIGHT MODULATION ELEMENT SPATIAL LIGHT MODULATION ELEMENT SPATIAL LIGHT MODULATOR AND EXPOSURE APPARATUS

摘要

공간광 변조 소자로서, 기판과, 기판에 대하여 가동하는 평탄부와, 평탄부에 부착된 평판과, 평판에 있어서의 부착면과 반대쪽의 면에 형성되고, 입사광을 반사하는 유전체막을 구비한다. 상기 공간광 변조 소자에 있어서, 유전체막은, 서로 적층되고, 인접하는 층과 굴절률이 다른 2종 이상의 유전체층을 포함하더라도 좋다. 또한, 상기 공간광 변조 소자에 있어서, 유전체막은, AlO의 막과 SiO의 막이 번갈아 적층되어 형성되더라도 좋다.