发明名称 SIDE WALL PORE SEALING FOR LOW-K DIELECTRICS
摘要
申请公布号 EP1864322(A1) 申请公布日期 2007.12.12
申请号 EP20060727680 申请日期 2006.03.20
申请人 NXP B.V. 发明人 BESLING, WILLEM F.A.
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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