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经营范围
发明名称
SIDE WALL PORE SEALING FOR LOW-K DIELECTRICS
摘要
申请公布号
EP1864322(A1)
申请公布日期
2007.12.12
申请号
EP20060727680
申请日期
2006.03.20
申请人
NXP B.V.
发明人
BESLING, WILLEM F.A.
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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