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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0750313(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19940042256 申请日期 1994.03.14
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK 发明人 TATE HIROSHI;OKINAGA TAKAYUKI;OTSUKA KANJI;SHIRAI MASAYUKI;OKUYA KEN
分类号 H01L21/60;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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