加热灯系统及其方法

摘要

本发明的实施方案大体上涉及用于化学气相沉积(CVD)的装置和方法。在一个实施方案中，提供用于CVD反应器系统的加热灯组件，加热灯组件包括灯壳体，灯壳体被布置在支撑基部的上表面上并且包括从第一灯保持器延伸至第二灯保持器的多个灯。灯可以具有分裂灯丝灯和/或非分裂灯丝灯，并且在某些实施例中，分裂灯丝灯和非分裂灯丝灯可以被交替地布置在第一灯保持器和第二灯保持器之间。反射器可以被在第一灯保持器和第二灯保持器之间布置在支撑基部的上表面上。在另一个实施方案中，方法包括将晶片承载器的下表面暴露于从加热灯组件放射的能量，并且将晶片承载器加热至预先确定的温度。

主权项

一种用于气相沉积反应器系统的加热灯组件，包括：灯壳体，其被布置在支撑基部的上表面上并且包括第一灯保持器和第二灯保持器，其中所述第一灯保持器和所述第二灯保持器中的每个灯保持器被独立地保持在275℃至375℃的范围内的温度，并且其中所述第一灯保持器和所述第二灯保持器中的每个灯保持器具有在0.001英寸至0.1英寸的范围内的厚度；被布置在所述第一灯保持器上的第一多个柱以及被布置在所述第二灯保持器上的第二多个柱；多个灯，其从所述第一灯保持器延伸至所述第二灯保持器，其中每个灯的第一端被布置在所述第一灯保持器上的两个柱之间，并且每个灯的第二端被布置在所述第二灯保持器上的两个柱之间；以及反射器，其在所述第一灯保持器和所述第二灯保持器之间布置在所述支撑基部的所述上表面上，所述加热灯组件布置在晶片承载器轨道下方，衬底衬托器适合于在被所述加热灯组件加热时沿着所述晶片承载器轨道移动。