用于线上处理系统的喷洒沉积模块

摘要

在一个实施例中，本发明提供一种用于在柔性导电基板的相对侧上同时沉积阳极活性材料或阴极活性材料的装置。该装置包含腔室主体，腔室主体界定一或更多个处理区域，柔性导电基板在该一或更多个处理区域中曝露于双侧喷洒沉积制程，其中一或更多个处理区域中的每一者进一步分隔为第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域，用于将阳极活性材料或阴极活性材料同时喷洒至柔性导电基板的一部分的相对侧上，其中第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域中的每一者包含喷洒分配器盒及可移动收集挡板，喷洒分配器盒用于向柔性导电基板递送活化材料。

主权项

一种用于在柔性导电基板的相对侧上同时沉积阳极活性材料或阴极活性材料的装置，包含：模块腔室主体，所述模块腔室主体界定一或更多个处理区域，所述柔性导电基板在所述一或更多个处理区域中曝露于双侧沉积制程，其中所述一或更多个处理区域中的每一者进一步分隔为第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域，所述第一喷洒沉积区域及所述第二喷洒沉积区域用于将所述活性材料同时喷洒至所述柔性导电基板的一部分的相对侧上；第一喷洒分配器盒，所述第一喷洒分配器盒安置在所述第一喷洒沉积区域中，用于向所述柔性导电基板喷洒所述活性材料；第一可移动收集挡板，所述第一可移动收集挡板安置在所述第一喷洒沉积区域中，用于在处于闭合位置时阻挡来自所述第一喷洒分配器盒的所述活性材料的流动路径；第二喷洒分配器盒，所述第二喷洒分配器盒安置在所述第二喷洒沉积区域中，用于向所述柔性导电基板喷洒所述活性材料；以及第二可移动收集挡板，所述第二可移动收集挡板安置在所述第二喷洒沉积区域中，用于在处于闭合位置时阻挡来自所述第二喷洒分配器盒的所述活性材料的流动路径，其中，所述第一喷洒沉积区域和所述第二喷洒沉积区域中的每一个由第一半圆形泵送通道及对面的第二半圆形泵送通道界定，所述第一半圆形泵送通道及所述第二半圆形泵送通道用于从各个喷洒沉积区域排出气体并控制各个喷洒沉积区域内的压力。