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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit mehrschichtiger Elektrodenstruktur
摘要
申请公布号 DE69031795(T2) 申请公布日期 1998.06.18
申请号 DE19906031795T 申请日期 1990.09.25
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKATA, IKUNORI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., NISHI-KU, FUKUOKA-SHI, FUKUOKA, JP
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L27/082;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/732;H01L29/74;H01L21/332;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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