GRAPHENE AND METHOD FOR GROWING OF GRAPHENE USING SPONTANEOUS PATTERN TRANSFER

摘要

기판 상의 촉매층의 촉매 마스크 패턴을 그래핀 성장용 금속 박막에 자발적 패턴 마스크로 전사시켜, 전사된 자발적 패턴 마스크를 통하여 그래핀을 선택적으로 성장시키는 자발적 패턴 전사를 이용한 그래핀 성장 방법이 개시된다.