扇形离轴非球面镜拼接测量系统

摘要

扇形离轴非球面镜拼接测量系统，包括菲索型干涉仪、被测扇形离轴非球面镜、电控平移台及计算机控制系统；通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪主机，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测扇形离轴非球面镜相应的扇形区域相匹配，通过安装在计算机系统上的菲索型干涉仪的数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由扩展的扇形子孔径“拼接”算法对所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测扇形离轴非球面镜的面形信息；本发明无需特殊的辅助光学元件就能实现适当偏离量的扇形离轴非球面镜的低成本检测，具有较大的应用价值。

主权项

1、扇形离轴非球面镜拼接测量系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪(1)、被测扇形离轴非球面镜(2)、电控平移台(4)、数字驱动器(5)及计算机系统(6)；被测扇形离轴非球面镜(2)采用侧支撑系统支撑，菲索型干涉仪(1)放置在电控平移台(4)上，计算机系统(6)通过数字驱动器(5)与电控平移台(4)相连，通过计算机系统(6)控制电控平移台(4)移动菲索型干涉仪(1)，所产生的一系列不同曲率半径参考球面波前将与被测扇形离轴非球面镜(2)相应的扇形区域相匹配，在所匹配的扇形区域里的参考球面被前与被测扇形离轴非球面镜(2)的表面之间的偏离量将减小到菲索型干涉仪(1)的测量范围内，产生一系列可分辨的干涉条纹，通过安装在计算机系统(6)上的菲索型干涉仪(1)的数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由扇形子孔径拼接算法将所得到的子孔径测试数据送入计算机系统(6)进行全孔径波前重构，从而获得被测扇形离轴非球面镜(2)的面形信息。