| 主权项 |
一种测试装置，包含：一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；以及一检视模组，具有一预定视野且经配置以撷取至少该待测半导体元件之影像；其中该探针载台包含一驱动单元，其经配置以于一映对程序中移动该探针，使得该探针离开该检视模组之焦点。根据请求项1所述之测试装置，其中该检视模组包含：一第一分光器，经配置以导引一照射光至一物件平面；一物镜，经配置以收集该物件平面之反射光；以及一第二分光器，经配置以将该反射光分派至一第一光学路径及一第二光学路径。根据请求项2所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一第一取像模组，设置于该第一光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件影像于一第一取像元件；以及一第二取像模组，设置于该第二光学路径上且具有一第二近摄镜，该第二近摄镜经配置以形成一第二物件影像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。根据请求项2所述之测试装置，其中该检视模组包含：一第三分光器，设置于该第一光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第三光学路径及一第四光学路径；以及一第四分光器，设置于该第二光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第五光学路径及一第六光学路径。根据请求项4所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一第一取像模组，设置于该第三光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件影像于一第一取像元件；以及一第二取像模组，设置于该第四光学路径上且具有一第二近摄镜及一负透镜，该第二近摄镜及该负透镜经配置以形成一第二物件影像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。根据请求项4所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一光强度侦测器，设置于该第五光学路径上；以及一光谱侦测器，设置于该第六光学路径上。根据请求项1所述之测试装置，其中该探针载台包含一固持器，经配置以固持该探针。根据请求项1所述之测试装置，其中该探针载台包含一固持器，经配置以固持一测试卡，该测试卡包含该探针。根据请求项1所述之测试装置，其中该壳体包含一上盖，经配置以形成一封闭室，该探针载台及该元件承座系设于该封闭室内。根据请求项9所述之测试装置，其中该上盖包含一透明部，该检视模组系经配置以经由该透明部撷取该影像。根据请求项1所述之测试装置，其中该壳体包含一平台，该探针载台系设置于该平台上。根据请求项1所述之测试装置，其中该驱动单元系经配置以沿一Z轴移动该探针，使得该探针离开该检视模组之焦点。根据请求项12所述之测试装置，其中该驱动单元系经配置以移动该探针接近该检视模组。根据请求项1所述之测试装置，另包含一处理模组，耦合于该检视模组且经配置以辨识该待测半导体元件之至少一接触部。根据请求项2所述之测试装置，另包含：一正透镜，设置于该第一分光器及一光源之间；以及一扩散元件，设置于该第一分光器之一收光面上且经配置以接收该光源之照射光。根据请求项1所述之测试装置，其中该驱动单元经配置以于该映对程序中移动该探针，使得该探针离开该检视模组之聚焦深度。一种测试装置，包含：一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；一元件载台，经配置以承接该元件承座，该元件载台包含一第一驱动单元，经配置以沿一第一轴向移动该元件承座；一检视模组，具有一预定视野且经配置以撷取至少该待测半导体元件之影像；以及一检视载台，经配置以承接该检视模组，该检视载台包含一第二驱动单元，经配置以沿该第一轴向移动该检视模组；其中该第一驱动单元及该第二驱动单元在一映对程序中致能以沿该第一轴向移动，使得该探针离开该检视模组之焦点。根据请求项17所述之测试装置，另包含一控制器，经配置以控制该第一驱动单元及该第二驱动单元以同步方式移动。根据请求项17所述之测试装置，其中该第一驱动单元经配置以沿一Z轴移动该元件承座。根据请求项17所述之测试装置，其中该第二驱动单元经配置以沿一Z轴移动该检视模组。根据请求项17所述之测试装置，其中该检视模组包含：一第一分光器，经配置以导引一照射光至一物件平面；一物镜，经配置以收集该物件平面之反射光；以及一第二分光器，经配置以将该反射光分派至一第一光学路径及一第二光学路径。根据请求项21所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一第一取像模组，设置于该第一光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件影像于一第一取像元件；以及一第二取像模组，设置于该第二光学路径上且具有一第二近摄镜，该第二近摄镜经配置以形成一第二物件影像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。根据请求项21所述之测试装置，其中该检视模组包含：一第三分光器，设置于该第一光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第三光学路径及一第四光学路径；一第四分光器，设置于该第二光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第五光学路径及一第六光学路径。根据请求项23所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一第一取像模组，设置于该第三光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件影像于一第一取像元件；以及一第二取像模组，设置于该第四光学路径上且具有一第二近摄镜及一负透镜，该第二近摄镜及该负透镜经配置以形成一第二物件影像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。根据请求项23所述之测试装置，其中该检视模组另包含：一光强度侦测器，设置于该第五光学路径上；以及一光谱侦测器，设置于该第六光学路径上。根据请求项17所述之测试装置，其中该探针载台包含一固持器，经配置以固持该探针。根据请求项17所述之测试装置，其中该探针载台包含一固持器，经配置以固持一测试卡，该测试卡包含该探针。根据请求项17所述之测试装置，其中该壳体包含一上盖，经配置以形成一封闭室，该探针载台及该元件承座系设于该封闭室内。根据请求项28所述之测试装置，其中该上盖包含一透明部，该检视模组系经配置以经由该透明部撷取该影像。根据请求项17所述之测试装置，其中该壳体包含一平台，该探针载台系设置于该平台上。根据请求项17所述之测试装置，另包含一处理模组，耦合于该检视模组且经配置以辨识该待测半导体元件之至少一接触部。根据请求项21所述之测试装置，另包含：一正透镜，设置于该第一分光器及一光源之间；以及一扩散元件，设置于该第一分光器之一收光面上且经配置以接收该光源之照射光。根据请求项17所述之测试装置，其中该第一驱动单元及该第二驱动单元在该映对程序中致能以沿该第一轴向移动，使得该探针离开该检视模组之聚焦深度。 |
