发明名称 Züchtungsverfahren für einen III-V Nitrid-Verbindungshalbleiter und Herstellungsverfahren für ein Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE69936564(D1) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 DE1999636564 申请日期 1999.11.23
申请人 SONY CORP. 发明人 HINO, TOMONORI;ASANO, TAKEHARU;ASATSUMA, TSUNENORI;KIJIMA, SATORU;FUNATO, KENJI;TOMIYA, SHIGETAKA
分类号 H01L21/20;H01L21/033;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/34;H01L33/40;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/20;H01S5/30;H01S5/323;H01S5/343 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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