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发明名称 Filmbelichtungsapparat und Belichtungsverfahren unter Verwendung dieses Apparates
摘要
申请公布号 DE69129509(T2) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 DE19916029509T 申请日期 1991.03.25
申请人 USHIO DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 GOTO, MANABU, MIDORI-KU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA, JP
分类号 G03F7/22;G03F9/00;H05K1/00;H05K1/02;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/22 主分类号 G03F7/22
代理机构 代理人
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