| 发明名称 | 一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用。所述星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：<img file="DDA0000399717450000011.GIF" wi="1980" he="425" />该分子玻璃合成过程简单，适用于工业化生产，四苯基乙烯具有刚性结构的空间立体几何骨架，可以有效地抑制分子的结晶，易于成膜，该分子玻璃在各种极性溶剂中均有好的溶解性，且具有玻璃化温度高，热稳定性好的特点，能够更好的满足光刻工艺的要求。采用旋涂法（Spin Coating）可制得良好的薄膜，可作为光刻胶与其他的添加剂配合制成正性光刻胶用于光刻。 | ||
| 申请公布号 | CN104557552B | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201310499686.9 | 申请日期 | 2013.10.22 |
| 申请人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明人 | 李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君 |
| 分类号 | C07C69/96(2006.01)I;C07C68/00(2006.01)I;C07C67/31(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C69/96(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人 | 张文祎 |
| 主权项 | 一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃，其特征在于，具有如下分子结构：<img file="FDA0000966183640000011.GIF" wi="1933" he="444" />其中，取代基R为碳原子数小于12的烷烃类碳酸酯取代基或烷烃类α‑醋酸酯取代基。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村东路29号 | ||