发明名称 Flache Grabenisolation mit dünner Nitridauskleidung
摘要
申请公布号 DE69504252(D1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 DE1995604252 申请日期 1995.06.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 FAHEY, PAUL MARTIN, SARATOGA, CALIFORNIA 95070, US;MORIKADO, MUTSUO, FISHKILL, NEW YORK 12524, US;HAMMERL, ERWIN, STORMVILLE, NEW YORK 12582, US;HO, HERBERT LEI, WASHINGTONVILLE, NEW YORK 10992, US
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/763 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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