液相生长氮化镓晶体的装置

摘要

本发明一种液相生长氮化镓晶体的装置，包括：反应釜、置于反应釜外的加热装置、放置于反应釜内的坩埚、坩埚内装的生长溶液和籽晶、及电磁感应驱动搅拌装置。所述搅拌装置，有两种：第一种为电磁感应装置驱动搅拌器旋转型，第二种为电磁感应装置驱动坩埚旋转型；所述电磁感应装置，由置于反应釜外的外部线圈装置及与其连接的交变电源、与搅拌器或坩埚固定连接的内部线圈装置组成。本发明，电磁感应驱动搅拌装置，可使晶体生长溶液混合均匀，搅拌可控，利于晶体均匀生长，较实用。

主权项

液相生长氮化镓晶体的装置，包括：反应釜、置于反应釜外的加热装置、放置于反应釜内的坩埚、坩埚内装的晶体生长溶液、浸没在晶体生长溶液中的籽晶，其特征在于，还包括电磁感应装置及搅拌器；所述电磁感应装置，包括：置于反应釜外的外部线圈装置及与外部线圈装置连接的交变电源、置于反应釜内的内部线圈装置，外部线圈装置与内部线圈装置位置内外相对应；所述内部线圈装置设置在反应釜的内部，位于坩埚上方，通过中轴固定于反应釜顶部；所述搅拌器浸没在生长溶液中，固定连接于内部线圈装置的下方；所述电磁感应装置驱动搅拌器旋转搅拌晶体生长溶液。