发明名称 |
用于凝固硅锭的坩埚 |
摘要 |
本发明涉及一种用于使熔融硅凝固为硅锭的坩埚,其特征在于,在所述坩埚的内表面上至少部分涂覆有通过聚硅氮烷热分解获得的材料所构成的至少一层,所述层具有大于1Pa并不高于500MPa的剪切强度,并且以非接触性瓷砖的邻接子层的堆叠形式存在。本发明还涉及用于制备这种坩埚的方法。 |
申请公布号 |
CN103080028B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201180041722.6 |
申请日期 |
2011.08.26 |
申请人 |
原子能与替代能源委员会 |
发明人 |
查尔斯·休格特;伊曼纽尔·弗拉奥特;海伦·里格尼尔 |
分类号 |
C03B11/00(2006.01)I;C03B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C03B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
谢顺星;刘成春 |
主权项 |
一种用于使熔融硅凝固为硅锭的坩埚,其特征在于,在所述坩埚的内表面上至少部分涂覆有通过聚硅氮烷热分解获得的材料所形成的至少一层,所述层具有大于1Pa并小于或等于500MPa的剪切强度,并且以非接触性瓷砖的邻接子层的堆叠形式存在,所述堆叠的厚度在10和500μm之间。 |
地址 |
法国巴黎 |