晶圆涂布显影机之热板降温系统

摘要

一种晶圆涂布显影机之热板降温系统，包含有一降温装置及一降温装置控制器；降温装置设于晶圆涂布显影机之一热板底部，降温装置控制器与晶圆涂布显影机及降温装置电性连接，由降温装置控制器对热板进行主动式之温度侦测，及对降温装置进行启动与停止之控制；降温装置控制器分析热板为降温状态时，会将热板周围的空间(Chamber)打开，或将热板上的罩体(Cover)打开，以利用机台内部气流来将热板上方的热源冷却，当降温装置控制器启动降温装置时，系对热板底部热源区进行强制性加速气体之流动(抽气或吹气)，以增进热板之降温速率；藉以增进产出产品之速率及良率。