| 摘要 |
본 발명은, 기판의 건조 시에 표면 상의 액체를 순식간에 건조시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다. 본 발명의 기판 처리 장치는, 기판(W)의 표면을 건조하는 가열 건조 수단(103)을 가지고 구성되는 기판 처리 장치(10)로서, 상기 가열 건조 수단(103)이 기판(W)의 연직 하향으로 배치된 표면을 하측으로부터 가열하며, 가열 작용으로 기판(W)의 표면에 생성된 휘발성 용매의 액적을 중력에 의해 낙하 제거시켜, 기판의 표면을 건조하는 것이다. |
