| 摘要 |
【課題】表面処理を行う処理温度の制御を簡単化しつつ処理精度のバラツキを抑えることができる表面処理装置を提供する。【解決手段】表面処理装置１００は、処理槽１１０と伝熱槽１３０とを備えている。処理槽１１０は、表面処理剤ＳＣおよび金属製被処理物ＷＫを密閉状態で収容して表面処理剤ＳＣを金属製被処理物ＷＫの表面に含浸させるための容器である。この処理槽１１０には、コンプレッサ１１４を介して不活性ガスが供給される。伝熱槽１３０は、伝熱流体ＣＦおよび処理槽１１０を密閉状態で収容する容器である。この伝熱槽１３０の内部には、ヒータ１４０が設けられている。ヒータ１４０は、伝熱流体ＣＦを加熱する熱源である。表面処理剤ＳＣは、金属製被処理物ＷＫの耐摩耗性を向上させるための潤滑性を有する油を主成分として構成されている。伝熱流体ＣＦは、表面処理剤ＳＣよりも大きな比熱の流体である水で構成されている。【選択図】 図１ |
