| 发明名称 | 多产品硅片测试方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种多产品硅片测试方法，找出多产品硅片测试对象中排布具有规律的最小单元；确定该单元内所有测试对象需要制作探针的坐标位置，并将所有测试对象所需要的探针作为一个集合，制作出对上述整个单元进行同时测试的探针卡；以上述最小单元为单位，安排遍历全硅片的路径，设计完成品种参数；对被测对象的位置进行映射，将该单元内的测试对象转化为测试仪支持的规则排布，完成测试结果与对应测试对象的对应关系；使用Application同测的方式，对硅片进行测试，并将测试结果映射回到原先的每个测试对象上，完成多产品硅片的测试。采用该方法能对多产品的多个测试对象同测，能有效提高多产品硅片的测试效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101458296A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200710094449.9 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 缪小波;陈婷;黄海华 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;G01R3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周 赤 |
| 主权项 | 1、一种多产品硅片测试方法，其特征在于，包括以下步骤：(1). 找出多产品硅片测试对象中排布具有规律的最小单元；(2). 确定该单元内所有测试对象需要制作探针的坐标位置，并将所有测试对象所需要的探针作为一个集合，制作出对上述整个单元进行同时测试的探针卡；(3). 以上述最小单元为单位，安排遍历全硅片的路径，设计完成品种参数；(4). 将被测对象的位置进行映射，将该单元内的测试对象转化为测试仪支持的规则排布，完成测试结果与对应测试对象的对应关系；(5). 使用Application同测的方式，对硅片进行测试，并将测试结果映射回到原先的每个测试对象上，完成多产品硅片的测试。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||