氟化金刚烷衍生物

摘要

本发明提供了耐浸蚀性好、能用作光刻法用材料、并能用于氟化金刚烷衍生物的制备的新型化合物。即，本发明提供了用下式(3)表示的化合物及用下式(4)表示的化合物。A(-G-Q-R)_n ……(3)A^f(-G^f-Q-R^f)_n ……(4)式中符号含义如下所述：A：金刚烷中的n个氢原子成为结合键的n价的基，并且不成为结合键的该氢原子可被烷基取代，R：含氟1价有机基，n：1～4的整数，G：-CH₂-或单键，Q：-COO-或-OCO-，A^f：与金刚烷的碳原子结合的n个氢原子成为结合键的n价的基，并且在不成为结合键的该氢原子可被烷基取代的基(A)中的至少1个形成C-H键的氢原子被氟原子取代的基，R^f：含氟1价有机基，G^f：-CF₂-或单键。

主权项

1. 用下式(3)A(-G-Q-R)n ……(3)表示的化合物，式中符号的含义如下所述：A：金刚烷中的n个氢原子成为结合键的n价的基团，并且不成为结合键的该氢原子可被烷基取代，R：碳原子数2～20的含有醚性氧原子的含氟烷基，n：1～4的整数，G：-CH2-或单键，Q：-COO-或-OCO-。