| 摘要 |
본 발명은 무라 정량화 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 레이저 결정화 장치가 포함된 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템에 있어서, 상기 레이저 결정화 장치에 의해 기판의 결정화를 수행하며, 상기 결정화된 기판을 이동시키면서 자외선 광원을 이용하여 무라를 실시간으로 정량화할 수 있도록 무라 정량화 장치가 상기 레이저 결정화 설비 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템 및 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 자외선을 이용하여 레이저 결정화 장치를 포함하는 설비 내에서 결정화된 기판에 기인하는 무라 정보만을 획득하여 정량화함으로써, 무라 검출에 대한 신뢰성을 확보할 수 있고 결정화된 기판의 상태에 대해 실시간으로 양불을 판정하여 안정적인 공정 관리를 도모할 수 있는 이점이 있다. |
