盒装置

摘要

一种盒装置，具有：第一单元部，进行基板的供给及回收中的一方；和第二单元部，进行上述基板的供给及回收中的另一方，上述第一单元部及上述第二单元部可彼此接近或分离。

主权项

一种盒装置，保持供给辊和回收辊，所述供给辊卷绕有应供给至处理装置的长条的片状基板，所述回收辊卷绕有从所述处理装置搬出的所述片状基板，其特征在于，所述盒装置包括：第一单元部，所述第一单元部保持所述供给辊，并能够借助第一驱动部而在二维平面内移动；第二单元部，所述第二单元部保持所述回收辊，并能够借助第二驱动部而在所述二维平面内移动；控制部，其控制所述第一驱动部和所述第二驱动部，以使得在与所述片状基板的长边方向交叉的短边方向上，所述第一单元部和所述第二单元部共同平移运动，在所述二维平面内的旋转方向上，所述第一单元部和所述第二单元部共同平移运动。