有机发光二极管的制造方法

摘要

本发明公开了一种有机发光二极管的制造方法，首先提供一基板，其中基板上已形成有数个呈阵列排列的薄膜晶体管，且每一薄膜晶体管包括形成有一栅极、一信道层、一源极以及一漏极。接着在基板上方形成一第一绝缘层，覆盖住薄膜晶体管。之后，在第一绝缘层上形成一第二绝缘层，并且形成一开口穿透第一绝缘层与第二绝缘层，暴露出漏极。继之，形成一阳极层覆盖第二绝缘层与漏极。最后再依序于基板上方形成一发光层以及一阴极层。

主权项

1、一种有机发光二极管的制造方法，其步骤包括：提供一基板，其中该基板上已形成有复数个呈阵列排列的薄膜晶体管、一保护层以及与每一该些薄膜晶体管对应的一阳极层，且每一该些薄膜晶体管包括形成有一栅极、一沟道层、一源极以及一漏极，且该阳极层是与该漏极电性连接，而该保护层履盖住该些薄膜晶体管，之后在该阳极层上形成一发光层以及在该发光层上形成一阴极层；其特征在于：形成该保护层的方法是先形成一第一绝缘层，然后对该第一绝缘层进行一第一清洗过程，再在该第一绝缘层上形成一第二绝缘层，接着再对该第二绝缘层进行一第二清洗过程。