发明名称 INDUKTIV GEKOPPELTES PLASMA-ÄTZGERÄT
摘要
申请公布号 DE60130977(T2) 申请公布日期 2008.07.17
申请号 DE20016030977T 申请日期 2001.03.28
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 NAKAJIMA, SHU
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址