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发明名称
INDUKTIV GEKOPPELTES PLASMA-ÄTZGERÄT
摘要
申请公布号
DE60130977(T2)
申请公布日期
2008.07.17
申请号
DE20016030977T
申请日期
2001.03.28
申请人
LAM RESEARCH CORP.
发明人
NAKAJIMA, SHU
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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