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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11317449(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980122515 申请日期 1998.05.01
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 UCHIYAMA TOMOYUKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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