| 发明名称 | 具有耐熔中间层和VPS 焦点轨迹的阳极盘元件 | ||
| 摘要 | 通过建立诸如碳加强的碳复合材料之类的碳衬底或者其它陶瓷衬底（50）来形成阳极（30）。在陶瓷衬底上电镀可延展耐熔金属，以便至少在焦点轨迹部分（36）上形成耐熔金属碳化物层（52）以及可延展耐熔金属层（54）。在可延展耐熔金属层上真空等离子体喷涂高‑Z耐熔金属，以便至少在所述焦点轨迹部分上形成真空等离子体喷涂的高‑Z耐熔金属层（56）。 | ||
| 申请公布号 | CN103370764B | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201180060230.1 | 申请日期 | 2011.12.14 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | K·C·克拉夫特;M-W·P·徐;M·何;G·J·卡尔森 |
| 分类号 | H01J35/10(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I | 主分类号 | H01J35/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈松涛;王英 |
| 主权项 | 一种阳极(30)，包括：碳或陶瓷衬底(50)；电解镀覆的耐熔金属碳化物层(52)，至少覆盖所述衬底的焦点轨迹部分(36)；电解镀覆的可延展耐熔金属层(54)，至少在所述焦点轨迹部分上覆盖所述耐熔金属碳化物层(52)；以及真空等离子体喷涂的高‑Z耐熔金属层(56)，至少在所述焦点轨迹部分上覆盖所述可延展耐熔金属层(54)。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||