| 发明名称 | 膜体声谐振器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种膜体声谐振器，包括：衬底；下电极；在下电极上设置的压电膜；与所述下电极相对并设置在压电膜上的上电极；以及多个凸起。所述衬底在其表面中具有腔。所述下电极从所述衬底的上表面在腔的上方延伸。所述凸起被设置在下电极下方的腔中。 | ||
| 申请公布号 | CN101026368A | 申请公布日期 | 2007.08.29 |
| 申请号 | CN200710007036.2 | 申请日期 | 2007.02.07 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 柴田浩延;坂井雅规 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01);H03H3/02(2006.01);H03H9/02(2006.01);H01L41/00(2006.01);H01L41/047(2006.01) | 主分类号 | H03H9/17(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 杨晓光;李峥 |
| 主权项 | 1.一种膜体声谐振器，包括：衬底，其在其表面中具有腔；下电极，其从所述衬底的上表面在所述腔的上方延伸；压电膜，其被设置在所述下电极上；上电极，其与所述下电极相对，并被设置在所述压电膜上；以及多个凸起，其被设置在所述下电极下方的腔中。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||