透明导电性膜

摘要

于使用膜基材之情形时，若为先前之铟锡氧化物之3层膜之构成，则无法进行铟锡氧化物之结晶化或者于结晶化中花费非常多之时间。本发明之透明导电性膜10包括具有2个主面之膜基材11、及形成于膜基材11之一主面上之透明导电膜12。透明导电膜12系自膜基材11侧起依序积层有第一铟锡氧化物层13、第二铟锡氧化物层14、第三铟锡氧化物层15之3层膜。第一铟锡氧化物层13之氧化锡含量少于第二铟锡氧化物层14之氧化锡含量。第三铟锡氧化物层15之氧化锡含量少于第二铟锡氧化物层14之氧化锡含量。