| 发明名称 | 蒸发器装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于涂覆衬底的蒸发器装置，特别用于在OLED上涂敷铝层。为了获得例如具有低蒸汽压的材料蒸发所要求的高的蒸发器管温度，加热系统被放到蒸发器管的内部。热损失因此最小化，以同样的接入加热功率可以获得更高的管温。 | ||
| 申请公布号 | CN1904129A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
| 申请号 | CN200610066685.5 | 申请日期 | 2006.04.19 |
| 申请人 | 应用薄膜有限公司 | 发明人 | M·本德尔;U·霍夫曼;G·科勒姆;D·哈斯;U·英格勒特 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/26(2006.01);C23C14/14(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.用于涂覆衬底的蒸发器装置，包括具有线性分配器(30-33)以及加热系统的蒸发器(19，90)，其中将被蒸发的材料的表面在第一平面内延伸，其特征在于，所述线性分配器(30-33)设置在垂直于所述第一平面的第二平面内，而所述加热系统(22；60-62；78-80；102)设置在所述蒸发器(19，90)的内部。 | ||
| 地址 | 德国阿尔则瑙 | ||