制造具有三维透镜的聚合波导的方法

摘要

光传输结构包括波导和光学透镜，其中光学透镜具有足够大的厚度，以允许弯曲的前透镜表面的形成，该弯曲的前透镜表面校准发送的光线，以致于它们在与工作面共面的平面内传播。本发明还涉及用于制造光传输结构的技术，其涉及光聚合物的使用。该光传输结构可以在各种系统例如用于光学数据输入的系统中实现。

主权项

1.一种用于制造光学结构的方法，包括：将光聚合物材料层施加到底部包覆层上，该底部包覆层形成在支持基底上；提供形成图案的灰度掩模，该灰度掩模允许特定图案的光以变化亮度通过该掩模；和将该光聚合物材料层暴露于通过灰度掩模引导的光，使得选定部分的光聚合物材料暴露于曝光梯度的光，该曝光梯度的光具有变化亮度的光线；利用显影液对该光聚合物材料层进行显影，以去除部分的光聚合物材料层，使得剩余部分的光聚合物材料形成与光学透镜结合的波导；和冲洗该光聚合物材料层，以洗掉被去除部分的光聚合物材料。