一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法

摘要

本发明公开了一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构，采用上、中、下三层的结构，其上层结构为紧凑型二自由度平移调整台，中层结构为圆筒形调高与调平结构，下层结构为支撑、密封和固定结构。其中，上层结构可以调节水平向X、Y位置，中间层通过与传感器安装座的调节螺钉可以调节θx、θy两个旋转自由度以及竖向Z的位置，最下层结构用于安装哈特曼传感器或CCD传感器。该集成调节结构为一个紧凑的模块，可以实现X、Y、θx、θy、Z五个自由度的调节，而且操作简洁，便于拆卸、安装、移动。

主权项

一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构，其特征在于，采用上、中、下三层的结构，上层结构为紧凑型二自由度平移调整台，用于在水平方向调整位移，中层结构为圆筒形调高与调平结构，下层结构为支撑、密封和固定结构。