用于确定物体表面相对于激光束的位置和对准的方法和系统

摘要

本发明总体上涉及一种方法和系统，用于确定一平面相对于相交轴的位置和对准，并且当把该平面用作参考平面时利用已知的位置和对准进行校正。更特别的是，本发明涉及这样一种方法和系统，用于确定一平坦表面相对于激光束的倾斜角，并且利用所确定的倾斜角计算要应用于该激光束的校正因数。简言之，该方法和系统最终计算在应用激光束的过程中要应用的校正因数，z偏移。

主权项

1.一种用于确定物体表面相对于激光束的位置和对准的方法，该方法包括以下步骤：提供表面基本平坦的物体；提供用于产生激光束的激光系统；在与激光束的z轴垂直的平面内沿着预定图案反复移动该激光束的焦点；当该激光束焦点接触该物体时检测至少一个等离子体火花；以及确定该平坦表面相对于激光束的对准。