喷墨打印头及其制造方法

摘要

本发明公开了一种喷墨打印头及其制造方法，该方法能够简化制造工艺而不需要进行额外的用于形成加热层的工艺，该喷墨打印头包括：衬底；加热元件，堆叠在衬底上用于加热墨水；具有栅极电极的晶体管，用于驱动加热元件；腔室层，用于在加热元件上形成填充有墨水的墨水腔；喷嘴层，堆叠在腔室层上以形成用于喷出墨水的喷嘴，其中栅极电极和加热元件包括通过自对准硅化物工艺形成的金属硅化物膜。

主权项

1. 一种喷墨打印头，包括:衬底；加热元件，堆叠在所述衬底上用于加热墨水；具有栅极电极的晶体管，用于驱动所述加热元件；腔室层，用于在所述加热元件上形成填充有所述墨水的墨水腔；以及喷嘴层，堆叠在所述腔室层上以形成用于喷出所述墨水的喷嘴，其中所述栅极电极和所述加热元件包括通过自对准硅化物工艺形成的金属硅化物膜。