紫外线固化处理系统

摘要

本发明的紫外线固化处理系统，能容易进行供给至净化箱的气氛气体的调整操作。薄膜涂覆系统(1)的特征在于，具备：紫外固化用装置(4)，其具有净化箱(16)和照射器(14)，降低氧浓度的气氛气体被导入至净化箱的内部，工件(2)经过该内部，照射器(14)对净化箱的内部的工件(2)照射紫外线；氮气流量调整盘(8)，其具备电-气调压阀(71)，电-气调压阀根据输入信号对气氛气体向净化箱(16)的排出压力进行控制，氮气流量调整盘通过调整排出压力来调整被导入至净化箱的气氛气体的流量；以及作为远程操作装置的操作装置(10)，其对氮气流量调整盘所具备的电-气调压阀进行远程操作。

主权项

一种紫外线固化处理系统，其特征在于，具备：紫外固化用装置，其具有净化箱和紫外线照射器，用于降低氧浓度的气氛气体被导入至所述净化箱的内部，并且工件经过该内部，所述紫外线照射器对位于所述净化箱的内部的工件照射紫外线；流量调整装置，其具备电‑气调压阀，所述电‑气调压阀根据输入信号对所述气氛气体向所述净化箱的排出压力进行控制，所述流量调整装置通过调整所述排出压力来调整被导入至所述净化箱的所述气氛气体的流量；以及远程操作装置，其对所述流量调整装置所具备的电‑气调压阀进行远程操作。