| 发明名称 |
Method for manufacturing a semcoductor component and a semiconductor component, in particular a diaphragm sensor |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US2008093694(A1) |
申请公布日期 |
2008.04.24 |
| 申请号 |
US20070001289 |
申请日期 |
2007.12.10 |
| 申请人 |
BENZEL HUBERT;WEBER HERIBERT;ARTMANN HANS;PANNEK THORSTEN;SCHAFER FRANK |
发明人 |
BENZEL HUBERT;WEBER HERIBERT;ARTMANN HANS;PANNEK THORSTEN;SCHAFER FRANK |
| 分类号 |
H01L29/02;B81B3/00;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L29/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
