| 摘要 |
본 발명은 배리어 시스템(3)을 포함하는 리소그래피 장치, 및 설명된 바와 같은 리소그래피 장치 중 어느 것을 이용하는 디바이스 제조 방법을 제공한다. 배리어 시스템은 배리어(4) 내에 가스의 보호된 부피를 유지하는 데 사용된다. 보호된 부피는 리소그래피 장치의 상이한 구성요소들이 서로에 대해 이동할 때 유지될 수 있다. 배리어 시스템은 리소그래피 장치 내의 상이한 위치들에 사용될 수 있다. 배리어의 지오메트리는, 특히 높은 속력에서, 보호된 부피가 얼마나 효율적으로 유지되는지에 영향을 준다. 본 발명의 지오메트리는 배리어 외부로부터 보호된 부피에 들어가는 주위 가스의 양을 감소시킨다. |
