| 发明名称 | 器件测试设备和测试方法 | ||
| 摘要 | 一种用于执行测试的测试板，为多个待测器件(DUT)如半导体集成电路的每一个提供一个这种测试板，提供了用于管理这些测试板的多测试板控制器，以及并行地操作由每个多测试板控制器管理的多个测试板，以便同时对各个DUT执行独立的测试。 | ||
| 申请公布号 | CN1291471C | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200410046435.6 | 申请日期 | 2004.05.31 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 松本享三 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L25/00(2006.01);H01L27/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 罗松梅 |
| 主权项 | 1.一种用于独立地测试多个待测器件的每一个的测试设备，包括：控制器，用于为待测器件发送测试请求并接收待测器件的测试结果；多个测试单元，用于分别对待测器件执行测试，并接收测试结果；以及一个或多个控制单元，所述一个或多个控制单元被提供在所述控制器与所述多个测试单元之间，用于根据来自所述控制器的测试请求并行控制与所述控制单元自身连接的各个测试单元中的测试过程，并且把在所述多个测试单元中获得的测试结果分别传送给所述控制器。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||