发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ALIGNING A PLANAR TABLE SURFACE
摘要 <p>Zum Ausrichten einer ebenen Tischoberfläche (14) relativ zu einer Referenzlinie (46) wird ein erster Positionssensor (28) bereitgestellt, der mit der Tischoberfläche (14) verbunden ist. Mit Hilfe des ersten Positionssensors (28) wird eine erste Tischhöhe relativ zu der Referenzlinie (46) bestimmt. Anschließend wird der erste Positionssensor (28) senkrecht zu einem zweiten Positionssensor (40) positioniert und es wird mit dem zweiten Positionssensor (40) eine Referenzhöhe relativ zu dem ersten Positionssensor (28) bestimmt. Danach wird die Tischoberfläche (14) entlang einer ersten Bewegungsrichtung (20) verfahren, um eine Vielzahl von zweiten Tischhöhen mit Hilfe des zweiten Positionssensors (40) zu bestimmen. Aus den zweiten Tischhöhen wird eine Messebene bestimmt, und die Tischoberfläche (14) wird parallel zu der Messebene ausgerichtet.</p>
申请公布号 WO2008022693(A1) 申请公布日期 2008.02.28
申请号 WO2007EP06791 申请日期 2007.08.01
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH;HOELL, MICHAEL 发明人 HOELL, MICHAEL
分类号 G01B11/02;G01B11/26 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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