发明名称 静電チャック
摘要
申请公布号 JP5962833(B2) 申请公布日期 2016.08.03
申请号 JP20150190103 申请日期 2015.09.28
申请人 TOTO株式会社 发明人 前畑 健吾;近藤 俊平;佐々木 均;山口 康介;吉井 雄一
分类号 H01L21/683;H02N13/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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